回轉工作臺的驅動方式
在半導體專用設備制造過程中，工作臺往往需要實現一定度數范圍內的旋轉、定位從而滿足加工工藝的要求。因此，實現工作臺可靠、平穩旋轉，精準落位，是半導體專用設備制造關鍵技術。在現代化的生產設備中，傳統的工作臺驅動方式是通過電機減速器直接作用于軸系，帶動工作臺旋轉，這種裝置在實際應用中存在一定的不足，運轉不平穩，震動大，噪音大，由于轉動慣量不匹配，導致工作臺落位時難以停穩，定位精度不能滿足工藝需求，從而大大降低了設備可靠性。
在近幾年的機械工業創新發展機床行業。在原有的回轉工作臺基礎上，把普通絲桿較換成滾珠絲杠，在鑄鐵的導軌面上鑲嵌直線導軌。把變速箱電機較換成伺服電機。
1、氣壓驅動：氣壓驅動具有，系統結構簡單，維修方便等特點，適用于中小負載的系統中。難于實現伺服控制，多用于程序控制的滑臺機械手，在上下料和沖壓設備中應用較多。
2、電動驅動：隨著低慣量、直流伺服電機及配套的伺服驅動器的廣泛應用，這種驅動系統被大量選用，在很大范圍內發生作用。
3、液壓驅動：液壓驅動具有動力大，慣量大，響應，易于實現直接驅動等特點，適用于承載能量大，環境中工作的滑臺機械手。
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